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Smart Sampling

Smart Sampling? 能夠在半導體制造環境中，與在線檢測工具聯動，自動完成晶圓檢測數據在線缺陷的取樣，是一個非常高效的自動化方法。通過Smart Sampling，能夠利用公司的生產制造數據來判斷哪種類型的工具最適用于檢測并分類特定的缺陷。它改善了在線檢測工具的使用，并減少了在決策過程中的人為錯誤。  允許用戶專注于檢測影響較大的根源。 更嚴格地權衡已知的問題，輕松地投入到新問題的研究中。 生成各類檢測工具集的多重樣本和取樣類型。 完成通常需要手工進行的自動取樣。 以用

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