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高K柵介質電荷俘獲行為的脈沖特性分析(英文)

高K柵介質電荷俘獲行為的脈沖特性分析(英文) High dielectric constant (high κ) gate materials, such as hafnium oxide (HfO2), zirconium oxide (ZrO2), alumina (Al2O3), and their silicates1, have drawn a great deal of attention in recent years as potential materials for gate dielectrics in advanced CMO

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