從集成電路中數以百萬計晶體管到制造高亮度LED的大面積復合結,半導體結可能由于不斷產生的熱量而在早期發生故障。當特征尺寸縮小并且當所需電流增大的情況下,這會成為非常嚴重的問題,甚至正常操作也可能聚積熱量,使結溫升高。溫度上升會導致半導體結內部的故障增加,進而使性能降低、使用壽命縮短。因此,需要一種準確測量半導體器件溫度的方法,避免出現危險的高溫。本文介紹了一種用常規測試和測量儀器測量結溫的簡單方法,并且如何用測量的結溫監視指定器件的工作條件。