本文介紹了電荷俘獲的原理以及直流特征分析技術對俘獲電荷進行定量分析的局限性。接下來,本文介紹了一種超快的脈沖I-V分析技術,能夠對具有快速瞬態充電效應(FTCE)的高k柵晶體管的本征(無俘獲)性能進行特征分析。