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專題 < 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管

#異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管

簡(jiǎn)介

異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管是一種半導(dǎo)體器件,最早由惠勒(Herbert Kroemer)于1957年提出并取得發(fā)展。其與同質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的主要區(qū)別在于采用了兩種不同材料的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),形成了pn結(jié)外加上pnp或npn結(jié)構(gòu),異質(zhì)結(jié)部分被稱為限制層,極大地提升了場(chǎng)效應(yīng)晶體管的性能。

  1. 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管簡(jiǎn)介 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管屬于雙極型晶體管,由P型、N型和異質(zhì)結(jié)區(qū)三個(gè)區(qū)域構(gòu)成。異質(zhì)結(jié)區(qū)域的厚度遠(yuǎn)小于其他兩個(gè)區(qū)域,通常在幾十奈米至一百多奈米之間。其材料具有不同的禁閉能帶和電子親和力,因此被稱為“異質(zhì)結(jié)”。

  2. 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的特征 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管相對(duì)于同質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的主要特征包括更高的開關(guān)速度、低噪聲系數(shù)、高增益和高截止頻率。在小信號(hào)放大器和射頻放大器等應(yīng)用中表現(xiàn)出卓越性能。

  3. 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的優(yōu)點(diǎn) 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的優(yōu)點(diǎn)包括較高的電流放大倍數(shù)、無需檢流電阻即可獲得大電流放大倍數(shù)、快速開關(guān)特性適用于高頻率應(yīng)用,并且相較于其他半導(dǎo)體器件(如場(chǎng)效應(yīng)晶體管和MOSFET),其制造成本較低,可進(jìn)行批量生產(chǎn)。

  4. 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的制作方法 異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的制造方法主要包括清潔硅基片以去除表面雜質(zhì)、通過化學(xué)氣相沉積法在硅基片上生長(zhǎng)薄的摻雜層并形成異質(zhì)結(jié)、通過光刻和濕法腐蝕等技術(shù)剝離摻雜物形成不同導(dǎo)電性的區(qū)域、沉積金屬電極和保護(hù)層,最后進(jìn)行熱處理和退火等步驟來激活摻雜物并形成電極。

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