微電子機械系統(tǒng)（MEMS）是一種融合了微電子技術和機械工程的新興技術領域，其制造微小機械元件的能力可達到微米級別。通常由集成電路、傳感器、執(zhí)行機構、控制電路和封裝構成。MEMS技術不僅廣泛應用于微型化方面，還可以與其他技術相結合，形成復合系統(tǒng)以提高性能和效率。

MEMS代表微電子機械系統(tǒng)，通過微電子加工技術在微米或亞微米尺度上設計、制造、加工、調(diào)試和應用各種微機械系統(tǒng)和精密傳感器等微縮器件。其特殊制造方法和結構使得MEMS器件具有傳統(tǒng)機械器件不具備的優(yōu)點，如更強的穩(wěn)定性、可靠性和更小的尺寸。

MEMS的主要特點包括微型化、與微處理器等集成制造、智能化和自適應性、高靈敏度、低功耗和高穩(wěn)定性。其獨特的構造和物理特性使得MEMS可以實現(xiàn)微弱的電學、光學、熱學和機械效應，因此在顏色分選、氣體傳感、生命科學等領域表現(xiàn)出優(yōu)異性能。

隨著MEMS制造技術的不斷發(fā)展，其在精密儀器、通信系統(tǒng)、信息處理、生物醫(yī)藥、汽車電子和航空航天等領域得到廣泛應用。其應用領域包括傳感器技術、光電子器件、微機器人技術、生物醫(yī)學領域以及汽車及航空電子技術領域。