對于 MEMS 技術，很多朋友是比較熟悉的。但是，同樣有些朋友對 MEMS 技術并不了解。為增進大家對 MEMS 技術的了解，本文首先將對 MEMS 技術基礎予以介紹，然后小編將帶大家看看汽車上有哪些 MEMS 應用。
一、MEMS 技術基礎
MEMS 技術的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS 技術是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領域，如電子技術、機械技術、物理學、化學、生物醫(yī)學、材料科學、能源科學等。其研究內容一般可以歸納為以下三個基本方面：
1.MEMS 理論基礎：
在當前 MEMS 所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響(Scaling Effects)，許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大區(qū)別，因此許多原來的理論基礎都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應、微結構的表面效應、微觀摩擦機理等，因此有必要對微動力學、微流體力學、微熱力學、微摩擦學、微光學和微結構學進行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學科的學者進行基礎研究。
2.MEMS 技術基礎：
MEMS 的技術基礎可以分為以下幾個方面：(1)設計與仿真技術;(2)材料與加工技術(3)封裝與裝配技術;(4)測量與測試技術;(5)集成與系統(tǒng)技術等。
3.MEMS 應用研究：
人們不僅要開發(fā)各種制造 MEMS 的技術，更重要的是如何將 MEMS 技術與航空航天、信息通信、生物化學、醫(yī)療、自動控制、消費電子以及兵器等應用領域相結合，制作出符合各領域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結構等 MEMS 器件與系統(tǒng)。
二、汽車上的 MEMS 應用
MEMS 傳感器有三項 MEMS 技術產品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用 25 至 40 只 MEMS 傳感器;
1)MEMS 傳感器的大批量高精度生產和高可靠性及單價廉價，特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應用;
2)安全氣囊中的汽車安全氣囊感應器;
3)MEMS 汽車微加速度計正替代以往的機電式加速度傳感器
4)MEMS 陀螺儀在高端汽車中的應用包括：懸架控制、翻滾
5)汽車 MEMS 壓力傳感器和輪胎氣壓自動監(jiān)測系統(tǒng)，MEMS 壓力傳感器適合于任何類型的輪胎，在輪胎胎壁埋設一小塊感壓力敏芯片，自動測量輪胎氣壓、溫度、轉速和其它一些數(shù)據(jù)，并用特定的代碼發(fā)送出來。
6)發(fā)動機管理系統(tǒng)中的 MEMS 應用
7)微機械陀螺是一種振動式角速率傳感器，在汽車領域的應用開發(fā)倍受關注，主要用于汽車導航的 GPS 信號補償和汽車底盤控制系統(tǒng);
8)汽車電控燃油噴射系統(tǒng) EFI 要使用多重壓力 MAP 傳感器，監(jiān)測發(fā)動機進氣歧絕對壓力，提高其動力性能，降低油耗，減少廢氣排放。
9)微型硅壓阻式 MEMS 壓力傳感器可用于發(fā)動機廢氣循環(huán)系統(tǒng)，替代陶瓷電容式壓力傳感器;
10)汽車空調壓縮機中的壓力測量也是 MEMS 的一個很大市場。
11)氣缸內氣壓測量,爆缸控制;
12)燃油噴射系統(tǒng),柴油共軌系統(tǒng);
13)傳動油壓,變速自動控制;
14)制動油道油壓,制動系統(tǒng);
15)懸掛液壓,懸掛系統(tǒng)。
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史海拾趣
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