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2021年04月08日 | SK海力士突發!工廠氫氟酸化學物泄露!

發布者:BlissfulSunrise 來源: 半導體行業聯盟關鍵字:SK海力士  三星 手機看文章 掃描二維碼
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據韓媒《朝鮮日報》4月6日報道,SK海力士利川M16工廠3名工人在檢查設備的過程中因毒性物質氟酸泄露受傷。M16工廠是此前竣工的DRAM生產工廠。當天上午11點34分時,在京畿道利川市SK海力士 M16工廠5樓的設備進行檢查期間,發生氫氟酸泄漏事故。


氟酸是無色毒性氟化氫溶解在水中的揮發性液體。使用于半導體電路繪制Pattern的蝕刻制程中。


在這起事故中,一名30歲的工人的胳膊和腿被燒傷,另有兩名雇員也因吸入氟酸氣體轉移至附近醫院。據報道,3名均無生命危險。SK海力士表示,此次事故是在對新的M16工廠設備進行檢查時發生的,對半導體生產沒有影響。


圖片

(圖片來源:朝鮮日報)


據悉,M16工廠將主要生產DRAM產品,總面積5.7萬平方米。在2021年1月,SK海力士在韓國京畿道利川總部舉行M16新廠竣工儀式,正式宣布新廠落地。

SK海力士首次在M16配備EUV(極紫外)光刻機,并從今年下半年起生產第四代1α納米級DRAM產品。未來SK海力士將提高EUV設備利用率,進一步增強存儲器半導體相關的先進工程技術領導力。




關鍵字:SK海力士  三星 引用地址:SK海力士突發!工廠氫氟酸化學物泄露!

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