懂王不僅讓我們懂得了半導體自主化的重要性和迫切性，更激發(fā)上下一心要在諸多“卡脖子”領(lǐng)域突破重圍。其中，光刻機無疑是重中之重。作為半導體產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠，作為半導體制造最不可或缺而又最觸不可及的光刻機，到底又該如何破冰？近日日經(jīng)指出，有關(guān)人士表示中國企業(yè)擬向兩家日本公司尼康、佳能提供資金，要求共同開發(fā)除EUV以外的新型光刻機，這真的可行嗎？                             

可行性

對于這一問題，某投資機構(gòu)負責人付輝（化名）認為，這看上去是可行的。日本有和中國合作的迫切欲望，雖然日本是美國的代理人是事實，但這不是合理的，日本真的不想一直做一個“非正常國家”。日本也想在半導體領(lǐng)域提升競爭力，而且日本的尼康、佳能在光刻機領(lǐng)域亦有多年的積累和實力。

通過注資來共同開發(fā)其實已有先例。成為光刻機霸主的ASML在早些年的研發(fā)過程中也遇到一些挑戰(zhàn)，而臺積電、英特爾后來的注資也起到雙贏的作用。

因而，集微咨詢高級分析師陳躍楠分析，從技術(shù)上來說，日本尼康和佳能以前也是光刻機的巨頭，只是在EUV光刻機與全球霸主ASML還有差距，如果中日雙方通過談判能達成協(xié)議，實現(xiàn)某種利益平衡，還是可行的。從產(chǎn)業(yè)的角度，入股之后可以派工程師學習，或加強人才方面的交流，這是沒有捷徑可走的。

盡管面臨中美科技走向脫鉤的形勢，陳躍楠仍認為，從政治上考量，盡管日本名義上是美代理人，但日本也不會完全聽命于美，中國市場對日本來說是一個巨大的市場，不止是光刻機，還有其他諸多電子類業(yè)務(wù)，雙方的合作是互惠互利的，所以未必這一合作行不通。即便經(jīng)濟全球化走向遇阻，但任何國家恐也難以將整個桌子掀翻。

要注意的是，應(yīng)盡量不要采取以具體項目開發(fā)的形式。付輝進一步指出，因為這會隨時都會被美按下“中止鍵”。在中美科技脫鉤開始實施的形勢下，這種形式不太現(xiàn)實。付輝提出的建議是，光刻機的開發(fā)要積數(shù)年之功，而在這一長周期內(nèi)，可以與日本共研，我們支付技術(shù)顧問費，以我為主，這是合適的。同時，要加強基礎(chǔ)科研的合作與探索，科學是無國界的。

而這一消息的另一重點是研發(fā)非EUV光刻機，顯然，DUV是更適合國內(nèi)市場現(xiàn)狀與需求的選擇。業(yè)界知名專家程睿（化名）表示，除EUV外，通常DUV光刻機最先進可以做到7nm，目前全球EUV才銷售了50臺，說明絕大多數(shù)都是非EUV。國內(nèi)產(chǎn)線大都集中在成熟工藝，DUV光刻機可謂量大面廣。只是DUV在7nm工藝相比EUV步驟繁瑣，需多次曝光。

重重考驗

需要曲線救光刻機的背后核心是，光刻機為何這么難？

因為光刻機是先進工藝制程持續(xù)進階必不可缺的重要支點，而且可說是地球上最復雜的精密設(shè)備之一。ASML最新型號的一臺光刻機的10萬個精密零件來自全球5千多家供應(yīng)商，所需的蔡司鏡頭更需要幾十年的技術(shù)沉淀和不斷測試才能滿足高要求。ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波表示，這意味著單單依靠ASML也不足以解決半導體制造的問題，其早已是全球化精細合作的結(jié)果，更需要全球產(chǎn)業(yè)鏈的整合。

最近ASML公布第三季度財報時ASML 總裁兼首席執(zhí)行官Peter Wennink表示，第三季度的新增訂單達到29億歐元，其中5.95億歐元來自4臺EUV設(shè)備。由此可算出，一臺EUV的售價已接近1.49億歐元，絕對是高精尖的集大成者。

而翻看霸主ASML登頂?shù)倪^程，會發(fā)現(xiàn)它的絕地反擊，不只是“定位精準”和“唯快不破”理念的執(zhí)著，并不斷加以開放和進取的“營養(yǎng)”，其崛起的背后更是一場地地道道的美國式成功。先是在技術(shù)路徑押注浸潤式光刻機以小博大，成功逆轉(zhuǎn)。而之后站在EUV LLC的肩膀上，背靠美國的支持，而對手尼康被排擠出局，之后ASML更成為英特爾連同三星和臺積電大客戶的利益共同體，自此在摘取EUV光刻機這顆寶石的道路上成功問鼎。

更重要的是，ASML的多年奮戰(zhàn)，培養(yǎng)了一大批專業(yè)人才，將近2.5萬名員工將全球100多個國家的專家、學者、工程師成為ASML最重要的核心資產(chǎn)。

還需要指出的是，ASML的EUV光刻機經(jīng)過數(shù)年之功，才真正完備且產(chǎn)業(yè)化成功。

可以說，國內(nèi)面臨的不止是技術(shù)、工業(yè)化能力的差距，更是對基礎(chǔ)科研、機制、人才、長期價值觀等全方位的考驗。

一些業(yè)內(nèi)人士呼吁：國內(nèi)要想在光刻機領(lǐng)域破局，首先要尊重技術(shù)規(guī)律，如果片面強調(diào)舉國體制、政策、資本的作用，以為能夠大躍進式地造出光刻機，那結(jié)果必然是四處碰壁。其次，在以國內(nèi)大循環(huán)為主體、國內(nèi)國際雙循環(huán)相互促進的新發(fā)展格局指引下，要明了外部循環(huán)仍然至關(guān)重要。對外開放的大門永遠不能關(guān)上，芯片業(yè)千萬不能脫離全球創(chuàng)新鏈。最后，芯片之戰(zhàn)已成為人才之戰(zhàn)，特別是在基礎(chǔ)研究教育層面要大刀闊斧革新，至少要花十年以上時間來彌補，基礎(chǔ)研究體制機制的內(nèi)省和改革更是刻不容緩。

無論如何，Plan B也必不可少。國內(nèi)光刻機的突破當然希望有外力幫助，但也要認清現(xiàn)實，目前想要外購的可能性太低，尤其是禁運封鎖在不斷升級。

程睿認為，光刻機是國內(nèi)半導體的一大關(guān)口，要想擺脫受制于人的被動局面，唯有一條路可走，那就是自研自產(chǎn)，盡管十分艱辛，要以數(shù)年時間為計。但國產(chǎn)化是敲門磚，如果光刻機都突破不了，那其他半導體設(shè)備就更只能依賴進口了，這個難關(guān)一定要攻下。他舉例說，國內(nèi)刻蝕機研發(fā)成功后，美馬上放松出口設(shè)備許可，實力才是真正的通行證。

提防競爭陷阱

既然決定要仰望光刻機的“星空”，那么路就在腳下。在這一過程中，更要提防的是競爭陷阱。

中制智庫研究院院長新望發(fā)表文章表示，需要提防類似芯片這樣的競爭陷阱，成為中國國力的消耗戰(zhàn)。什么是競爭陷阱？就是當我們利用舉國之力不惜代價把產(chǎn)業(yè)水平和西方追趕差不多的時候，西方突然放開市場，那么所有不惜代價的投資豈不打了水漂。芯片是這樣，上面列舉的所有卡脖子的行業(yè)都如法泡制一遍，那對整個中國國力將是巨大的消耗。競爭陷阱，不可不防。

程睿解讀說，當中國即使70%國產(chǎn)化達到時，美國放松管控，那么大量IC進口，價格低、性能更好，那么這個所謂的70%可能一大半成“無用功”。因此，國產(chǎn)化關(guān)鍵是質(zhì)量取勝，提升競爭力，保證最基石的能力及本事。

從目前來看，美方名義上一方面全方位遏制華為，另一方面也在不斷平衡利益，讓英特爾、AMD等出口部分芯片，以及臺積電提供28nm及以上節(jié)點代工等。程睿提及，這目的是讓中國半導體總存有希望，導致國產(chǎn)化動力不足，這是對方的策略。因而反過來說，如果中國投資尼康、佳能合作開發(fā)出光刻機，有可能造成國內(nèi)光刻機的國產(chǎn)化之路更加艱辛。

這真的是脆弱與反脆弱的兩難選擇。