如果說半導(dǎo)體是整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的皇冠的話，那么光刻機(jī)就是皇冠上那顆最璀璨的鉆石，沒有光刻機(jī)，就沒有如今蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
日前，光刻機(jī)主要供應(yīng)商之一的佳能，舉辦了首臺(tái)日本產(chǎn)光刻機(jī)誕生50周年紀(jì)念活動(dòng)，佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司董事長兼總經(jīng)理牧野晶、佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司副總經(jīng)理五十嵐文生及佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司銷售二部銷售二處處長毛小敏出席了此次紀(jì)念發(fā)布會(huì)。
半導(dǎo)體器件被廣泛應(yīng)用于從智能手機(jī)到汽車等各個(gè)領(lǐng)域，在其制造過程中半導(dǎo)體光刻機(jī)必不可少。隨著數(shù)字技術(shù)的迅速發(fā)展，佳能的半導(dǎo)體光刻機(jī)也在不斷升級(jí)。
回顧佳能光刻機(jī)發(fā)展歷程
佳能光刻機(jī)的歷史始于對(duì)相機(jī)鏡頭技術(shù)的高度應(yīng)用。靈活運(yùn)用20世紀(jì)60年代中期在相機(jī)鏡頭開發(fā)中積累的技術(shù)，佳能研發(fā)出了用于光掩膜制造的高分辨率鏡頭。此后，為了進(jìn)一步擴(kuò)大業(yè)務(wù)范圍，佳能開始了半導(dǎo)體光刻機(jī)的研發(fā)，并于1970年成功發(fā)售日本首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)「PPC-1」，正式進(jìn)入半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域。根據(jù)五十嵐文生介紹，PPC就是Projection Printer Camera的縮寫，之前并沒有l(wèi)ithography的說法。
50年來，佳能光刻機(jī)業(yè)務(wù)取得了眾多里程碑式的進(jìn)展。
佳能于1975年發(fā)售的「FPA-141F」光刻機(jī)在世界上首次實(shí)現(xiàn)了1微米以下的曝光，此項(xiàng)技術(shù)作為“重要科學(xué)技術(shù)歷史資料（未來技術(shù)遺產(chǎn)）”，于2010年被日本國立科學(xué)博物館產(chǎn)業(yè)技術(shù)歷史資料信息中心收錄。
目前佳能的光刻機(jī)陣容包括i線光刻機(jī)和KrF光刻機(jī)產(chǎn)品線，并根據(jù)時(shí)代的需求在不斷擴(kuò)大應(yīng)用范圍，這也都是隨著線寬需求不斷改進(jìn)。2001年，佳能推出12英寸的光刻設(shè)備，今后，佳能將繼續(xù)擴(kuò)充半導(dǎo)體光刻機(jī)的產(chǎn)品陣容和可選功能，以支持各種尺寸和材料的晶圓以及下一代封裝工藝。此外，在尖端領(lǐng)域?yàn)闈M足電路圖案進(jìn)一步微細(xì)化的需求，佳能也在致力于推進(jìn)納米壓印半導(dǎo)體制造設(shè)備的研發(fā),并使之能應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)，2017年成功推出。
除了半導(dǎo)體領(lǐng)域，自1986年起，佳能將半導(dǎo)體光刻機(jī)技術(shù)應(yīng)用于平板顯示器制造領(lǐng)域，開始開發(fā)、制造和銷售平板顯示曝光設(shè)備。2018年，佳能推出適用于第八代面板的光刻設(shè)備。今后佳能也將繼續(xù)致力于提高清晰度和生產(chǎn)效率，以滿足液晶和OLED顯示設(shè)備制造的需求。
截至目前，佳能已累計(jì)出貨5600余臺(tái)光刻設(shè)備，覆蓋眾多領(lǐng)域，尤其是在步進(jìn)光刻機(jī)細(xì)分市場(chǎng)，佳能有超過80%的市場(chǎng)份額，受到了中國客戶的喜愛。
光刻機(jī)如何超越摩爾定律
如今，似乎光刻機(jī)已成為組織摩爾定律前進(jìn)的主要障礙之一，五十嵐文生表示，目前佳能的技術(shù)演進(jìn)路線分為兩方面，一方面是繼續(xù)追隨摩爾定律，不斷在高端制程上開發(fā)，另外則是在多樣化方向發(fā)展。五十嵐文生說道，物聯(lián)網(wǎng)對(duì)半導(dǎo)體需求多樣化，除了CPU，傳感器，電源控制類器件需求不斷增加，所以佳能也在針對(duì)各細(xì)分市場(chǎng)推出不同的產(chǎn)品組合。“我們是根據(jù)應(yīng)用特殊的要求，細(xì)分開發(fā)各種不同設(shè)備，比如包括存儲(chǔ)/邏輯，攝像頭/傳感器，IoT/汽車/射頻/電源以及后道，佳能都進(jìn)行了產(chǎn)品細(xì)分。”五十嵐文生說。
目前針對(duì)第三代半導(dǎo)體，由于尺寸限制，因此佳能改造了90年代的8寸設(shè)備，推出了對(duì)應(yīng)的3030產(chǎn)品，適合非硅基板的應(yīng)用。
五十嵐文生指出，同樣的事情也發(fā)生在液晶市場(chǎng)，佳能也不斷推出各類細(xì)分新品，滿足電視等大屏幕的需求，同時(shí)也滿足手機(jī)等對(duì)于分辨率的要求，以及未來包括OLED等新興市場(chǎng)的應(yīng)用。
和中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)共成長
牧野晶表示，隨著中國對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重視，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備和材料的需求不斷增加，對(duì)佳能來說，是個(gè)非常有魅力的市場(chǎng)。
目前，佳能光刻機(jī)在日本生產(chǎn)，但是在中國擁有眾多辦事處，為得就是提供更好的服務(wù)，從而更貼近客戶，據(jù)介紹佳能所有半導(dǎo)體光刻設(shè)備都可以面向中國客戶銷售，不存在限售令等。
牧野晶說道，中國目前的市場(chǎng)需求呈現(xiàn)著多元化，發(fā)展?jié)摿O大，如何滿足中國客戶的需求，是未來事業(yè)成敗的關(guān)鍵。“我們會(huì)認(rèn)真傾聽客戶的要求，和總部研發(fā)緊密合作，盡量從佳能角度為客戶提出解決辦法。截至目前，中國市場(chǎng)的新需求佳能都可以滿足。”
目前，佳能光刻機(jī)在華銷售情況，在半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)是中資企業(yè)和外資企業(yè)各50%，在液晶面板領(lǐng)域，中資廠商占比達(dá)到了70%以上，這也是佳能深耕中國，與中國本土客戶共發(fā)展的最好體現(xiàn)。
牧野晶表示，相信中國政府對(duì)發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的決心與信心，也相信中國設(shè)計(jì)業(yè)的能力，但面對(duì)集成電路的飛速發(fā)展，人才儲(chǔ)備有可能成為中國半導(dǎo)體未來面臨的重大問題。
牧野晶說道，2019年半導(dǎo)體市場(chǎng)確實(shí)有所下滑，佳能光刻機(jī)的銷售額也產(chǎn)生了下滑，但是從未來長遠(yuǎn)來看，形式依然非常樂觀。對(duì)此，佳能將努力提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，幫客戶最大化價(jià)值，今后將繼續(xù)提升光刻設(shè)備技術(shù)，為社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
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史海拾趣
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