線寬（linewidth)是光學專有名詞，
波長λ=193nm 那線寬指的就是Δλ一般是幾個到幾十個波數(shù)（記不清了），
我知道題目的意思是，193nm 這么寬，怎么能刻出 45nm 的寬度呢，
他說的是分辨率，其他答主講了很多，我簡單看公式：
R，分辨率，就是你?？匆姷?180nm、130nm、90nm、65nm、45nm 之類，
λ，光刻激光的波長，已經從 436nm、365nm、248nm 到了現(xiàn)在最常用的 193nm，
n，為介質折射率，空氣約 1，水約 1.44，
NA，為數(shù)值孔徑，和鏡子大小，以及距離有關，
k1，就當是個系統(tǒng)常數(shù)吧，把掩膜那些技術都算在這個里面，
從公式算，當然就是 k1 越小、λ越小、n 越大、NA 越大，越能獲得小的 R 了，
現(xiàn)在的情況就是λ=193nm 的時候，R 可以做到 45nm，現(xiàn)在好像 22nm 都出來了？不確定，
其他都好理解，就是那個 k1 里面的各種技術很難，去看別的答主吧，有詳細科普。
我不想講掩膜的技術，因為我覺得講不清楚，大概先給幾個光刻相關的示意圖：
以上看不懂的直接略過，因為我也不想看。
我對掩膜技術不感興趣，但是我對這個光刻光源還是了解一些，
光刻光源的發(fā)展以前是這樣設想的，
但是戰(zhàn)局瞬息萬變，
很正常的想法是先從 193nm 準分子激光（ArF 工作介質）發(fā)展到 157nm 準分子激光（F2 工作介質），
根據(jù)長期的使用經驗，我是完全不看好的，157 簡直太辣雞，又嬌貴能量又低，完全沒有 193nm 皮實，這種真空紫外用起來很難受，實際上大家也都知道 157 很不皮實，可能真的沒人會看好過...
現(xiàn)在已經完全沒 157 什么事情了，直接跨越了這個波長，
要么自由電子激光（FEL），要么等離子體出 13.5nm，
自由電子激光很早就有人考慮過了，至少 2006 年 Intel 就有說，
當然現(xiàn)在由于國家大力發(fā)展 FEL，這個概念肯定更熱，我不好說它不合適，畢竟 FEL 有它可調諧，波長可以非常短（X 射線都行，只要加錢產生更高能的電子）的優(yōu)勢。
我認為比較爽的還是用等離子體產生 13.5nm 的光，
簡單來說，就是用二氧化碳激光器，打到靶材（錫，Sn）上，
等離子體當然是接近白光光譜很寬了，正好有個材料可以反射 13.5nm，
為啥是 13.5nm，也可以認為正好是這個反射的結果，
用圖簡單來說，就是這樣，Laer produced plasma（LPP）：
據(jù)我所知，應該已經做到 500W 了，
光源，始終是限制分辨率最直觀的因素，
只有實在找不到更低的時候，才會去想辦法弄各種掩膜，
以至于現(xiàn)在掩膜技術都精進到我很難簡單科普出來了...
如果 13.5nm 普及，那真實碾壓了，
對了，國內現(xiàn)在各種想彎道超車干過 ASML，Good luck.
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史海拾趣
對于大型溫室排氣扇自動控制電路，網(wǎng)友們可能會提出一系列問題，這些問題涵蓋了設計、功能、維護、能效以及安全性等多個方面。以下是一些常見問題及其回答示例：
1. 如何設計自動控制系統(tǒng)以確保溫室內的溫度和濕度保持在最佳范圍？
回答：
設計自動控制系統(tǒng)時，通常會集成溫度傳感器和濕度傳感器，這些傳感器實時監(jiān)測溫室內的環(huán)境參數(shù)，并將數(shù)據(jù)發(fā)送給控制器（如PLC或微控制器）?？刂破鞲鶕?jù)預設的閾值（如溫度上限、下限，濕度目標范圍等）判斷是否需要啟動或調整排氣扇的轉速。此外，還可以加入光照強度、CO?濃度等傳感器，以更全面地控制溫室環(huán)境。
2. 排氣扇的自動啟停是如何實現(xiàn)的？
回答：
排氣扇的自動啟停通常通過繼電器或固態(tài)繼電器（SSR）控制。當控制器判斷需要調整溫室環(huán)境時，會發(fā)送信號給繼電器，繼電器閉合或斷開電路，從而控制排氣扇的電源通斷。對于需要調節(jié)風速的排氣扇，則可能采用變頻驅動器（VFD）來控制電機的轉速。
3. 如何保證自動控制系統(tǒng)在斷電后能夠恢復工作狀態(tài)？
回答：
為了確保系統(tǒng)在斷電后能恢復工作狀態(tài)，可以設計非易失性存儲器（如EEPROM）來保存關鍵參數(shù)和設置。當系統(tǒng)重新上電時，控制器會讀取這些參數(shù)并自動恢復到斷電前的配置狀態(tài)。此外，還可以加入備用電源（如UPS）來確保在短暫停電期間系統(tǒng)能夠繼續(xù)運行。
4. 如何提高自動控制系統(tǒng)的能效？
回答：
提高能效的方法包括：
- 使用高效節(jié)能的排氣扇和電機。
- 采用智能控制算法，如PID控制，精確調節(jié)排氣扇的轉速以匹配實際需求，避免過度或不足排氣。
- 引入自然通風策略，在適宜條件下減少機械通風的使用。
- 定期檢查和維護系統(tǒng)，確保傳感器準確、設備無故障運行。
5. 自動控制系統(tǒng)在應對極端天氣條件時有哪些安全措施？
回答：
在應對極端天氣條件時，自動控制系統(tǒng)應具備以下安全措施：
- 增設防雷擊保護裝置，防止雷電對系統(tǒng)造成損害。
- 設計防水防塵的傳感器和控制器外殼，確保在惡劣天氣下仍能正常工作。
- 監(jiān)控系統(tǒng)的運行狀態(tài)，設置故障報警和自動停機功能，一旦檢測到異常情況立即采取措施。
- 備份關鍵數(shù)據(jù)和設置，以防數(shù)據(jù)丟失導致系統(tǒng)無法恢復。
這些問題和回答涵蓋了大型溫室排氣扇自動控制電路的主要關注點，有助于理解和設計更加高效、安全、可靠的自動控制系統(tǒng)。
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