近日，中國電子科技集團有限公司在京舉辦集成電路核心裝備展，從“大國重器”“自主可控”“軍民融合”“智能制造”四個角度，全方面總結該集團公司集成電路產業安全、自主可控方面取得的成績。
“大國重器”展區展示了該集團公司在集成電路關鍵設備方面的突破和成果。瞄準集成電路的核心關鍵，自2009年起，中國電科在國家科技重大專項的支持下，先后突破了離子注入機、化學機械拋光設備(CMP)等若干攻關難度大、帶動力強的集成電路關鍵裝備核心技術;取得了發明專利授權146項，獲得了省部級以上獎勵22項;建成了符合SEMI標準的離子注入機批量制造平臺、設立博士后科研工作站;CMP研發平臺獲批“北京市化學機械平坦化工藝設備工程技術研究中心”;國產首臺離子注入機、200mmCMP設備進入國內著名集成電路企業大生產線，先進封裝設備具備集成服務能力，進入國內先進封裝龍頭企業?！ ?br/>
“自主可控”展區展示了立足核心元器件制造自主可控，該集團公司形成的整線裝備集成服務能力。立足自主可控，中國電科聯合國內有關設備廠家，承擔起整線裝備國產化的重任。截至目前，中國電科自主研制的20余種微組裝設備達到國際先進水平，制定了微組裝關鍵工藝設備通用規范和行業標準108項，改變了我國雷達用T/R組件微組裝設備依賴進口的現狀，先后為眾多軍工科研生產骨干單位提供了多條生產線。同時，圍繞5G通信、相控陣雷達、智能電網等軍民應用領域第三代半導體器件制造需求，中國電科已形成了第三代半導體設備局部成套能力，并廣泛應用?！ ?br/>
“軍民融合”展區展示了該集團公司將軍工裝備核心技術，應用于平板顯示、光伏、半導體照明、動力鋰電池等關鍵設備、工藝及相關產業的成效成果。國內最大、最早的光伏整線裝備供應商、系統集成商，國內最大的平板顯示后制程設備供應商，國內最大的LED芯片關鍵設備供應商和系統集成商，動力鋰電池材料制造裝備行業前三強……一系列身份印證中國電科在軍民融合發展方面的不懈努力，也記錄了國產集成電路裝備與工藝的逐步自主創新、迭代發展的過程。目前，中國電科研制的各型裝備已走進企業、走出海外，為國民經濟發展貢獻力量。
“智能制造”展區展示了該集團公司踐行“中國制造2025”戰略，推動裝備成套化、智能化、系統化發展的成果。2015年以來，集團公司先后建成了國內首個高效PERC光伏電池智能制造示范線、首個微電子陶瓷器件數字化車間，并雙雙入選工信部智能制造試點示范名單。高效光伏電池智能生產線，可減少生產人員70%以上，提高生產效率20%，降低運營成本30%，降低產品不良品率30%，提高能源利用率15%，產線設備國產化率達90%以上。微電子陶瓷器件數字化車間可提高生產效率30%，降低運營成本20%，降低產品不良品率20%，減少生產人員50%以上，產線設備國產率達95%以上。
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史海拾趣
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