新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的「血液」。 中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供貨商，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅實支撐。
電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn) 的關(guān)鍵材料。 然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴(yán)重影響我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善，影響我國集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國際競爭力。
郭建增介紹，７１８所在國家重大專項的支持下，經(jīng)過多年軍民融合、持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新，相繼研制出高純?nèi)⒘u等系列特種氣體產(chǎn)品，打破國外企業(yè)十幾年的壟斷，結(jié)束了該領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品的高價時代，主要產(chǎn)品三氟化氮市場價格大幅下降， 改變了我國高純特種氣體長期依賴進(jìn)口的不利局面。
目前，７１８所三氟化氮、六氟化鎢生產(chǎn)規(guī)模均位居國內(nèi)第一，三氟化氮、六氟化鎢的國內(nèi)市場覆蓋率超過９５％，國際市場覆蓋率達(dá)５０％；其他７種氣體及１０種混合氣體已研制成功并具備批產(chǎn)條件，得到了國內(nèi)半導(dǎo)體龍頭企業(yè)的 測試 認(rèn)證。
據(jù)介紹，７１８所將加快三氟化氮、六氟化鎢等主要氣體產(chǎn)能建設(shè)，加大國際國內(nèi)兩個市場開拓力度，加快拓展半導(dǎo)體行業(yè)大宗氣體現(xiàn)場制氣業(yè)務(wù)，力爭在２０２０年前將三氟化氮、六氟化鎢等4種氣體產(chǎn)能及市場占有率實現(xiàn)世界第一。
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