11 月 12 日消息，據(jù)韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部官網(wǎng)新聞稿，半導(dǎo)體光刻膠巨頭日本 JSR 今日在韓國(guó)忠清北道清州舉行 MOR（IT之家注：金屬氧化物）光刻膠生產(chǎn)基地的奠基儀式。
該生產(chǎn)基地由 JSR 在韓子公司 JSR Micro Korea 建設(shè)，將生產(chǎn)可用于 EUV 光刻的 MOR 光刻膠，目標(biāo) 2026 年建成投產(chǎn)。這也是韓國(guó)境內(nèi)的首個(gè)同類光刻膠工廠。
適用于 EUV 制程的 MOR 光刻膠能夠替代低端化學(xué)放大光刻膠，在確保超精細(xì)工藝的競(jìng)爭(zhēng)力方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。JSR Micro Korea 新工廠有望直接向韓國(guó)本土兩大半導(dǎo)體制造巨頭三星電子、SK 海力士供貨，保證光刻膠供應(yīng)穩(wěn)定可靠。
JSR 在今年 8 月 30 日的相關(guān)新聞稿中還提到，該企業(yè)計(jì)劃今年秋天起在日本關(guān)東地區(qū)建設(shè)一個(gè)新的 MOR 研發(fā)基地，作為日本三重縣四日市現(xiàn)有精密電子開發(fā)中心的補(bǔ)充，以強(qiáng)化同全球客戶與伙伴的交流合作。
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